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超声波喷涂技术被视为一种有效的薄膜涂层制备工艺,比如半导体圆表面的光刻胶涂覆,相比于传统旋涂工艺,超声喷涂可制备出表面微结构包裹性更好、更均匀的光刻胶涂层。上海央米科技的超声波精密喷涂系统为半导体光刻胶涂覆、PCB助焊剂喷涂、微电子传感器功能性涂层涂覆等提供了表面涂覆解决方案。
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