碳化硅籽晶粘连特性和设备——石墨胶保护层——YMUS波
碳化硅与硅相比具有更大的带隙和更优异的介电击穿性能、耐热性、耐辐射性等，因此，适合用于诸如便携式和高输出半导体等的电子器件材料，并且由于优异的光学性能，也用作光学器件材料。碳化硅单晶与碳化硅多晶相比，在应用于晶片等器件时，具有晶片内的特性均匀性等优点。尤其用于新能源汽车中的功率交换器、电池充电器、电机驱动器是未来市场的重点方向。
籽晶粘结剂要具备的功能：
1、当籽晶与籽晶盖结合以生长单晶时，抑制因粘接失效而导致的微裂纹的形成，这些缺会形成宏观缺陷；
2、阻止微管的延续；
3、阻止背面升华；
4、一定的粘结强度；
5、形成保护层；
通常的工艺结构如下：
1、籽晶晶种
2、石墨纸缓冲层
3、保护层
4、生长晶体
籽晶背面形成保护层，通过胶粘剂和缓冲层（石墨纸）粘合，缓冲层通过粘合剂和籽晶盖粘合。
籽晶上喷涂胶粘剂与石墨纸的结合是如何减少失效率呢？
YMUS精密喷涂设备，确保籽晶与籽晶托之间的粘结剂厚度分布均匀，避免籽晶由于不均匀机械应力和热应力作用发生开裂。
1、提高籽晶粘接质量是保证高品质碳化硅晶体生长的首要前提，从碳化硅籽晶与石墨托的平整度以及两者之间粘接的牢固程度、均匀性和致密性等方面来评价和优化籽晶的粘接质量。
2、均匀性要求胶层厚度均匀一致，胶厚均匀一致是胶层致密性的前提条件。YMUS超声喷涂设备雾化均匀度≥95%，确保有机胶涂覆在籽晶和石墨托表面上，增强稳定性。
3、致密性要求将胶层中的气泡排干净，或者气泡在胶层中均匀分布，不足以引起籽晶背面径向温度的差异。
YMUS-ZS400 超声波喷涂设备
