· 原理:通过高频振动将钙钛矿前驱体溶液雾化成微米级液滴,在基底表面均匀沉积,形成高结晶度、低缺陷的薄膜。
· 应用场景:
· 柔性基底适配:适用于聚酰亚胺(PI)、聚酯(PET)等柔性基材,避免传统旋涂法对基底平整度的严苛要求。上海央米智能研究,波可在柔性基底上制备均匀钙钛矿层,使柔性电池效率达 21.3%(接近刚性器件水平)。
· 大面积制备:通过调节喷嘴参数(如移动速度、频率),可实现米级尺寸薄膜的均匀沉积,支持产业化需求。
· 优势:
· 材料利用率高达 90%,显著降低贵金属(如铅)和有机胺的浪费。
· 非接触式喷涂减少基底损伤,适合曲面或粗糙表面(如纺织物集成光伏)。
· 应用:
· 空穴 / 电子传输层:喷涂可精确控制 TCO(如 ITO)、PEDOT:PSS、金属氧化物(如 NiOx)等材料的厚度,优化界面能级匹配。
· 界面钝化层:通过雾化沉积超薄二维钙钛矿或自组装单分子层(SAMs),减少界面缺陷,提升电荷提取效率。
· 案例:
· 上海央米超声波系统在 MEA 制造中实现铂利用率 90%,涂层厚度控制精度达亚微米级。
· 可在晶硅叠层电池中制备均匀钙钛矿层,突破传统溶液法对基底的限制。
· 低温工艺兼容性:
· 超声雾化可在室温或低温(<150℃)下完成,避免柔性基底热变形,适配硅异质结叠层电池的低温制备需求。
· 卷对卷(R2R)生产适配:
· 雾化过程无需高压气体,适合连续化生产,显著降低单瓦成本。上海央米卷对卷超声波精密喷涂设备,采用超声波喷头技术,自动收放卷,在线衬底加热功能,实现边喷边干燥,提供生产效率。可提供均匀高效 的薄膜喷涂及喷雾热解,膜厚最薄可达几十纳米。适用于薄膜太阳能电池、PET薄膜、无纺布、织物功能涂层、碳纤维等多种纳米及亚微米级薄膜制备。
· 挑战:
· 前驱体溶液的稳定性(如锡基无铅钙钛矿的氧化问题)。
· 复杂界面(如钙钛矿 / 硅叠层)的精准调控。
· 创新方向:
· 开发多喷头协同喷涂技术,实现多层膜同步沉积。
· 探索真空超声雾化与 ALD(原子层沉积)的复合工艺,进一步提升薄膜致密性。