薄膜涂层对半导体的重要性——薄膜涂层——YMUS波
随着半导体集成电路的快速发展,它也面临着一些挑战。第一,防水或耐腐蚀的设备对消费者有很大的吸引力;第二,设备需要可靠耐用,能够承受持续、长时间的使用。这些都是对半导体器件的重要要求,也是半导体供应商需要解决的挑战。
薄膜沉积可以解决这些挑战性问题。在半导体上应用薄膜涂层不仅可以提高它们的效率,而且可以延长它们的使用寿命。然而,为了获得高质量的薄膜,半导体制造商必须确保镀膜方式(通常是超声喷涂)具有高纯度、高转换。
图:新材料薄膜涂层
光刻胶在半导体制程中起到了图形转移的作用。光刻工艺中,在待刻蚀物质的表面涂敷光刻胶,光刻胶经曝光后,被曝光部分或者未曝光部分在显影过程中被去除,从而得到所需要的图形,在此基础上对物质进行针对性的刻蚀,最后去除掉光刻胶。在实际工艺中,为达到更好的光刻效果,会在曝光前后以及显影后对光刻胶进行烘焙。
图:光刻胶涂覆
YMUS超声应用于半导体光刻胶涂覆的喷涂技术,相对比与旋涂、侵涂等传统涂覆工艺,有着均匀度高,对微结构包裹性好,涂覆面积可控等优势。