兆 声 清 洗 系 统
槽 式 兆 声 振 板
Vibration plate type
YMMS
● 兆声振板，用于组装槽式兆声清洗设备；
● 1MHz超高频波，更精细的声处理效应；
● 均匀的兆声声场，振板表面声强可超过5W/cm2；
● 先进的石英及蓝宝石耦合技术，无杂质脱落风险；
● 超低的声空化效应，不损伤器件表面；
● 高防腐性，可耐各种酸碱溶液及有机溶剂；
兆声清洗特点
兆声波清洗不会产生强烈的空化效应，可以避免在清洗过程中造成对清洗对象表面的损伤与污染物残留。兆声波清洗效率高、时间短，使用清洗剂浓度低，化学试剂的消耗量少，因此对环境的危害水平较低。
设备优势
● 可直接安装到清洗槽底部的兆声振板，方便二次开发；
● 兆声发射声场分布均匀，提高清洗均匀度；
● 极低的超声空化效应，不会对器件表面造成损伤；
● 大功率兆声波换能器，振板表面声强可达5W/cm2以上；
● 石英或蓝宝石匹配层技术，无杂质脱落到器件上的风险；
● 可全面非金属高防腐材质，适应各种酸碱及有机溶剂；
● 独特的换能器贴合技术，更高的稳定性和耐久性；
● 第三代半导体技术的兆声发生器，全面实现数字化高频大功率驱动；
设备特性
● 输入功率：600-1200W；
● 频率：1MHz；
● 有效清洁面积：135-160mm；
● 兆声振板，用于组装槽式兆声清洗设备；
● 1MHz超高频兆声波，更精细的声处理效应；
● 均匀的兆声声场，振板表面声强可超过5W/cm2；
● 先进的石英及蓝宝石耦合技术，无杂质脱落风险；
● 超低的声空化效应，不损伤器件表面；
● 高防腐性，可耐各种酸碱溶液及有机溶剂；
● 兆声发射声场分布均匀，提高清洗均匀度；
● 可全面非金属高防腐材质，适应各种酸碱及有机溶剂；
● 独特的换能器贴合技术，更高的稳定性和耐久性；
技术参数
● 输入功率：600-1200W
● 频率：1MHz
● 有效清洁面积：135-280mm
● 材质：电抛光表面
● 重量：3-7kg
● 对应晶圆尺寸：6-8inch
● 液体温度范围：5-80℃
● 传感器：PZT
兆 声 清 洗 系 统
槽 式 兆 声 振 板
Vibration plate type
YMMS
● 兆声振板，用于组装槽式兆声清洗设备；
● 1MHz超高频波，更精细的声处理效应；
● 均匀的兆声声场，振板表面声强可超过5W/cm2；
● 先进的石英及蓝宝石耦合技术，无杂质脱落风险；
● 超低的声空化效应，不损伤器件表面；
● 高防腐性，可耐各种酸碱溶液及有机溶剂；
兆声清洗特点
兆声波清洗不会产生强烈的空化效应，可以避免在清洗过程中造成对清洗对象表面的损伤与污染物残留。兆声波清洗效率高、时间短，使用清洗剂浓度低，化学试剂的消耗量少，因此对环境的危害水平较低。
设备优势
● 可直接安装到清洗槽底部的兆声振板，方便二次开发；
● 兆声发射声场分布均匀，提高清洗均匀度；
● 极低的超声空化效应，不会对器件表面造成损伤；
● 大功率兆声波换能器，振板表面声强可达5W/cm2以上；
● 石英或蓝宝石匹配层技术，无杂质脱落到器件上的风险；
● 可全面非金属高防腐材质，适应各种酸碱及有机溶剂；
● 独特的换能器贴合技术，更高的稳定性和耐久性；
● 第三代半导体技术的兆声发生器，全面实现数字化高频大功率驱动；
设备特性
● 输入功率：600-1200W；
● 频率：1MHz；
● 有效清洁面积：135-160mm；
● 兆声振板，用于组装槽式兆声清洗设备；
● 1MHz超高频兆声波，更精细的声处理效应；
● 均匀的兆声声场，振板表面声强可超过5W/cm2；
● 先进的石英及蓝宝石耦合技术，无杂质脱落风险；
● 超低的声空化效应，不损伤器件表面；
● 高防腐性，可耐各种酸碱溶液及有机溶剂；
● 兆声发射声场分布均匀，提高清洗均匀度；
● 可全面非金属高防腐材质，适应各种酸碱及有机溶剂；
● 独特的换能器贴合技术，更高的稳定性和耐久性；
技术参数
● 输入功率：600-1200W
● 频率：1MHz
● 有效清洁面积：135-280mm
● 材质：电抛光表面
● 重量：3-7kg
● 对应晶圆尺寸：6-8inch
● 液体温度范围：5-80℃
● 传感器：PZT
