兆 声 清 洗 系 统
线 型 清 洗
Line type
YMMS
● 比传统型号更小更轻；
● 从喷嘴向水流施加波压力会在水中产生粒子加速，水粒子运动会去除物镜上的亚微米污染；
● 新鲜的去离子水供应避免了清洁介质内的再污染；
● 清洗水以单线形式供给，可有效清洗液晶玻璃等宽幅材料；
● 高频兆声波对细颗粒污染有效；
● 输出功率控制可调节功率，适用于磁头等精密物体；
兆声清洗特点
兆声波清洗不会产生强烈的空化效应，可以避免在清洗过程中造成对清洗对象表面的损伤与污染物残留。兆声波清洗效率高、时间短，使用清洗剂浓度低，化学试剂的消耗量少，因此对环境的危害水平较低。
使用方法
● 镜面抛光后或气相沉积 GaAs 晶圆前的清洗；
● LCD 玻璃、HDD 介质或硅晶片的清洗；
● 用于 CMP 后处理的清洁；
设备特性
● 流量：8L-60L/min；
● 喷嘴狭缝尺寸：95mm-600mm；
● 有效清洁区域：80mm-580mm；
● 比传统型号更小更轻；
● 从喷嘴向水流施加声波压力会在水中产生粒子加速，水粒子运动会去除物镜上的亚微米污染；
● 新鲜的去离子水供应避免了清洁介质内的再污染；
● 清洗水以单线形式供给，可有效清洗液晶玻璃等宽幅材料；
● 高频兆声波对细颗粒污染有效；
● 输出功率控制可调节功率，适用于磁头等精密物体；
● 适合流水线量产型在线清洗处理；
兆 声 清 洗 系 统
线 型 清 洗
Line type
YMMS
● 比传统型号更小更轻；
● 从喷嘴向水流施加波压力会在水中产生粒子加速，水粒子运动会去除物镜上的亚微米污染；
● 新鲜的去离子水供应避免了清洁介质内的再污染；
● 清洗水以单线形式供给，可有效清洗液晶玻璃等宽幅材料；
● 高频兆声波对细颗粒污染有效；
● 输出功率控制可调节功率，适用于磁头等精密物体；
兆声清洗特点
兆声波清洗不会产生强烈的空化效应，可以避免在清洗过程中造成对清洗对象表面的损伤与污染物残留。兆声波清洗效率高、时间短，使用清洗剂浓度低，化学试剂的消耗量少，因此对环境的危害水平较低。
使用方法
● 镜面抛光后或气相沉积 GaAs 晶圆前的清洗；
● LCD 玻璃、HDD 介质或硅晶片的清洗；
● 用于 CMP 后处理的清洁；
设备特性
● 流量：8L-60L/min；
● 喷嘴狭缝尺寸：95mm-600mm；
● 有效清洁区域：80mm-580mm；
● 比传统型号更小更轻；
● 从喷嘴向水流施加声波压力会在水中产生粒子加速，水粒子运动会去除物镜上的亚微米污染；
● 新鲜的去离子水供应避免了清洁介质内的再污染；
● 清洗水以单线形式供给，可有效清洗液晶玻璃等宽幅材料；
● 高频兆声波对细颗粒污染有效；
● 输出功率控制可调节功率，适用于磁头等精密物体；
● 适合流水线量产型在线清洗处理；
