单晶圆兆声清洗机

兆 声 清 洗 系 统

单晶圆兆声清洗机

Single wafer megatonic cleaning machine

YMMS-MSC600

         兆声波清洗是利用换能器发出兆赫级高能声波, 溶液分子在这种声波的推动下作加速运动，以强的声压梯度及声流作用产生的高速流体力学层连续冲击，使吸附的微细颗粒解吸的清洗技术。

  兆声清洗特点  

          兆声波清洗不会产生强烈的空化效应，可以避免在清洗过程中造成对清洗对象表面的损伤与污染物残留。兆声波清洗效率高、时间短，使用清洗剂浓度低，化学试剂的消耗量少，因此对环境的危害水平较低。

   设备特性  

◆ 仪器型兆声清洗设备

◆ 石英喷头：兆声喷头角度可调整（可选配多种流量型号）

◆ 兆声清洗设备，采用兆声清洗喷头技术，可提供纳米级湿法清洗

◆ “干进干出” 一步工艺以最低的投资和购置成本来实现

◆ 无损兆声清洗，试剂，PVA刷洗

◆ N2甩干，转速可设置

◆ 全彩触摸屏控制及友好的人机交互界面

◆ 工艺顺序自由搭配建立清洗菜单，多段速设置

◆ 内置顶式FFU净化系统

◆ 进口高精密流量控制阀门数值拟定

◆ 独立液体排放单元可以和厂务接口对接

◆ 多种工艺配方储存

◆ 漏液检测报警装置

◆ 应急DI固定臂

◆ 设备骨架不锈钢外包NPP材质